特許

J-GLOBAL ID：200903030435013866

粒子ビーム・コラム

発明者： アロン リットマン ,  アレクサンダー ゴールデンステイン ,  スティーブン アール.ロジャース
出願人/特許権者： オパール テクノロジーズ リミティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330855
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273569
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【課題】 電子ビームによって試験片の表面を走査して試験片の表面から放出される電子を検出する粒子ビーム・コラム関し、試験片の表面形状及び材料の特徴を高解像度で画像化および測定することを目的とする。【解決手段】 粒子源と、試験片の表面から放出される電子を集束することにより後方散乱電子の内側環状帯と二次電子の外側環状帯とに電子を分散させる対物レンズと、粒子源と対物レンズとの間に位置し、後方散乱電子の内側環状帯を検出する後方散乱電子検出器と、粒子源と対物レンズとの間に位置し、二次電子の外側環状帯を検出する二次電子検出器とを具備する。

請求項（抜粋）：

試験片の表面形状及び材料の特徴を高解像度で画像化し、測定するための粒子ビーム・コラムであって、該粒子ビーム・コラムは、試験片から二次電子及び後方散乱電子を含む電子を放出させるように、一次粒子ビーム軸に沿って飛翔し、試験片に衝突する一次ビームを生成する粒子源と、前記一次ビーム軸に対しその半径方向に電子を分散させ、分散された電子が後方散乱電子からなる内側環状帯と二次電子からなる外側環状帯とを形成するように、前記電子を集束する対物レンズと、前記粒子源と前記対物レンズとの間に位置し、前記後方散乱電子の内側環状帯を検出する後方散乱電子検出器と、前記粒子源と前記対物レンズとの間に位置し、前記二次電子の外側環状帯を検出する二次電子検出器とを具備することを特徴とする粒子ビーム・コラム。

IPC (7件)：

H01J 37/10 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/14 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01J 37/10 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/14 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 Z ,  H01L 21/30 541 A