特許
J-GLOBAL ID：200903030447770743
窒化アルミニウム基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267807
公開番号（公開出願番号）：特開平5-105526
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 ホットプレス法により、窒化アルミニウム基板を焼結するに際し、生成する液相が滲み出て基板表面の平滑性が損なわれることを防止する方法を提供する。【構成】 窒化アルミニウムのグリーンシートGをホットプレス法によって焼結されたセッターSで挟持して焼結することにより、液相の滲み出しを防止する。
請求項（抜粋）：
焼結助剤を含有する窒化アルミニウムからなるグリーンシート(G)をるつぼ(M)内に配置すると共に、そのグリーンシート(G)をセッター(S)によって挟持した状態で焼成を行う窒化アルミニウム基板の製造方法において、前記セッター(S)には焼結助剤を含有し、かつホットプレス法にて焼結された窒化アルミニウムからなる基板を用いることを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。
IPC (4件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/64
, H05K 1/03
, F27D 3/12
