電子放出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373703
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185021
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、付着性を向上させ、従来技術を基礎として作製できるホウ素、炭素、窒化を基盤材料とした電子放出装置を提供する。【解決手段】シリコン基板1上に電気的に接続してホウ素(組成比x)、炭素(組成比y)、窒素(組成比z)を含む組成比が0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1の領域(窒化ホウ素炭素薄膜2)が少なくとも1層以上あり、表面に露出して組成比が0≦x<1、0≦y≦1、0≦z<1の薄膜(窒化ホウ素炭素薄膜3)があり、前記薄膜に電気的に絶縁して引き出し電極5が設けられ、前記薄膜に対向して引き出し電極5と空間をもってアノード電極7を設けた。

請求項（抜粋）：

導体または半導体基板上に電気的に接続してホウ素(組成比x)、炭素(組成比y)、窒素(組成比z)を含む組成比が0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1の領域が少なくとも1層以上あり、表面に露出して組成比が0≦x<1、0≦y≦1、0≦z<1の薄膜があり、前記薄膜に電気的に絶縁して第1の金属体が設けられ、前記薄膜に対向して前記第1の金属体と空間をもって第2の金属体を設けたことを特徴とする電子放出装置。

IPC (2件)：

H01J 1/304 , H01J 1/30

FI (2件)：

H01J 1/30 F , H01J 1/30 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

電界放出型陰極
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051804 出願人：新日本無線株式会社
電界放出型陰極
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-062318 出願人：新日本無線株式会社
電子放出素子および画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-251976 出願人：松下電器産業株式会社

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