特許
J-GLOBAL ID:200903030456434799
ナノチューブを揃えて接着する方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 桜井 周矩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-141505
公開番号(公開出願番号):特開2004-344992
出願日: 2003年05月20日
公開日(公表日): 2004年12月09日
要約:
【課題】ナノチューブ自体の製造方法の研究は多く成されており、ナノチューブの成長機構や成長条件については解明されつつある。一方、それをデバイスとして用いる場合には、ベースとなる基板にナノチューブを揃えて取り付けることが必要であるが、従来、容易にナノチューブを基板に揃えて接着する技術はなかった。【解決手段】カーボンナノチューブ粉体を封入したチャンバー内で、電極基板間に電圧を印加し、発生する電気力線の向きに沿って静電気力で前記粉体を飛翔させ、電気力線に沿って基板に垂直に立つ状態でナノチューブを基板に到達させることによりナノチューブを揃えて基板に接着する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
カーボンナノチューブ粉体を封入したチャンバー内で、電極基板間に電圧を印加し、発生する電気力線の向きに沿って前記粉体を飛翔させ、電気力線に沿って基板に垂直に立つ状態で静電的にナノチューブを基板に到達させることによりナノチューブを揃えて基板に接着する方法。
IPC (3件):
B82B3/00
, C01B31/02
, H01J9/02
FI (3件):
B82B3/00
, C01B31/02 101F
, H01J9/02 B
Fターム (30件):
4G146AA01
, 4G146AA02
, 4G146AA11
, 4G146AA19
, 4G146AA29
, 4G146AB06
, 4G146AD17
, 4G146AD29
, 4G146AD30
, 4G146BA02
, 4G146BA04
, 4G146BA13
, 4G146BA40
, 4G146BA42
, 4G146BA43
, 4G146BB23
, 4G146BC02
, 4G146BC18
, 4G146CB14
, 5C127BA09
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC02
, 5C127CC10
, 5C127DD13
, 5C127DD28
, 5C127DD38
, 5C127DD62
, 5C127DD64
, 5C127EE04
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