特許
J-GLOBAL ID:200903030456434799

ナノチューブを揃えて接着する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  桜井 周矩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-141505
公開番号(公開出願番号):特開2004-344992
出願日: 2003年05月20日
公開日(公表日): 2004年12月09日
要約:
【課題】ナノチューブ自体の製造方法の研究は多く成されており、ナノチューブの成長機構や成長条件については解明されつつある。一方、それをデバイスとして用いる場合には、ベースとなる基板にナノチューブを揃えて取り付けることが必要であるが、従来、容易にナノチューブを基板に揃えて接着する技術はなかった。【解決手段】カーボンナノチューブ粉体を封入したチャンバー内で、電極基板間に電圧を印加し、発生する電気力線の向きに沿って静電気力で前記粉体を飛翔させ、電気力線に沿って基板に垂直に立つ状態でナノチューブを基板に到達させることによりナノチューブを揃えて基板に接着する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
カーボンナノチューブ粉体を封入したチャンバー内で、電極基板間に電圧を印加し、発生する電気力線の向きに沿って前記粉体を飛翔させ、電気力線に沿って基板に垂直に立つ状態で静電的にナノチューブを基板に到達させることによりナノチューブを揃えて基板に接着する方法。
IPC (3件):
B82B3/00 ,  C01B31/02 ,  H01J9/02
FI (3件):
B82B3/00 ,  C01B31/02 101F ,  H01J9/02 B
Fターム (30件):
4G146AA01 ,  4G146AA02 ,  4G146AA11 ,  4G146AA19 ,  4G146AA29 ,  4G146AB06 ,  4G146AD17 ,  4G146AD29 ,  4G146AD30 ,  4G146BA02 ,  4G146BA04 ,  4G146BA13 ,  4G146BA40 ,  4G146BA42 ,  4G146BA43 ,  4G146BB23 ,  4G146BC02 ,  4G146BC18 ,  4G146CB14 ,  5C127BA09 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC02 ,  5C127CC10 ,  5C127DD13 ,  5C127DD28 ,  5C127DD38 ,  5C127DD62 ,  5C127DD64 ,  5C127EE04

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