特許
J-GLOBAL ID：200903030457889668

半導体集積回路検査装置およびそのデータ設定方法

発明者：
石田 昭人

石田 昭人 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197406
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038096
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 パーピン構成の半導体集積回路検査装置のデータ設定に要する時間を短縮するグループ化を容易に行い、データ設定に要する時間を短縮する。【解決手段】 コントローラ22からは、ブロードキャストイネーブル信号、グループIDコードおよび個別ピンIDコードを指定することができる。ブロードキャストイネーブル信号が1になると、すべてのピンのハードウェアリソース24に対して、同時にデータの設定が可能となる。ブロードキャストイネーブル信号が0で、グループIDコードがグループID格納レジスタ31に格納されているデータと一致すると、グループに対して、同時にデータの設定が可能となる。個別ピンIDコードが個別ピンID格納レジスタ32に格納されているデータと一致すると、ハードウェアリソース24を個別にデータ設定することもできる。
請求項（抜粋）：
半導体集積回路の接続部分に個別的に接続可能な複数のピンを備え、各ピン毎に同等のハードウェアリソースを有し、各ピン毎のハードウェアリソースは共通のコントローラに接続可能な半導体集積回路検査装置において、各ピン毎に設けられ、グループ識別情報が設定可能なグループ設定手段と、各ピン毎に設けられ、各ピンを個別に識別するための個別識別情報が設定可能な個別設定手段と、各ピン毎に設けられ、コントローラから与えられる識別情報を、グループ設定手段に設定されるグループ識別情報および個別設定手段に設定される個別識別情報と比較し、グループ識別情報または個別識別情報と一致するとき、コントローラからハードウェアリソースへのアクセスを可能にする制御手段とを含むことを特徴とする半導体集積回路検査装置。
IPC (2件)：
G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01R 31/28 H ,  H01L 21/66 Z
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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