特許
J-GLOBAL ID：200903030466345131
搬送装置におけるティーチング位置設定方法及びティーチング位置設定装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058003
公開番号（公開出願番号）：特開平9-252039
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 部品の組付け直し等により部品の位置が設定済みの位置データからずれててしまった場合、簡単な操作で新たな位置データを設定する。【解決手段】 位置補正が必要な搬送位置(例えば処理トレイ3)にダミーのウェハDWを正しくセットする。搬送ロボットはダミーDWを処理トレイ3の設定済みのセンタにてすくい取り、設定済みの移動量A1でダミーDWをアライメントユニットのテーブル11aまで搬送する。これにより組み付け後の処理トレイ3に正しくセットしたダミーDWのセンタWcと、処理トレイ3の元のセンタTcとのずれ量分だけ、ダミーDWはそのセンタWcがテーブル11aのセンタCからずれて載置される。このずれ量がアライメントユニットにより計測されるとともに、その計測値から組付け直し前後の処理トレイ3のずれ量が演算され、その演算値に基づいて処理トレイ3の新たな位置データが設定される。
請求項（抜粋）：
ティーチング機能を備えた搬送装置におけるティーチング位置設定方法において、予め仮りの位置座標が設定された補正対象先の搬送位置に被搬送体を正しくセットし、仮りの位置座標が正しければ位置ずれしないはずの所定量だけその被搬送体を移動させて基準位置まで搬送し、その基準位置における被搬送体の位置ずれを計測してその位置ずれデータから当該補正対象の搬送位置における位置ずれを演算により推定し、その位置ずれ分だけ仮りの位置座標を補正するようにした搬送装置におけるティーチング位置設定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
