特許
J-GLOBAL ID：200903030482635360
圧力センサ及びこの圧力センサを用いたガス異常監視装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321395
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159561
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 圧力センサの特性を長期間維持してガス設備内の微少なガス漏洩も精度よく判定する。【解決手段】 固定基板2の表面に形成した電極1と、ダイアフラム4の表面に形成した電極3とを対向して配置したセンサ素子を収納する容器に、撥水性および通気性を有するフィルタ部6を設け、ダイアフラム4に導入する被測定気体に含まれる異物、水分などを除去する。
請求項（抜粋）：
撥水性および通気性を有するフィルタ部と、表面に第一の電極が形成された電気絶縁性材料からなる固定基板と、表面に第二の電極が形成された電気絶縁性弾性材料からなるダイアフラムとを備え、前記第一の電極と前記第二の電極とは対向して配置し、被測定気体を前記フィルタ部を経由して前記ダイアフラムに導入する圧力センサ。
IPC (6件)：
G01L 9/12
, B01D 39/14
, B01D 39/16
, G01F 1/00
, G01L 13/06
, G01L 19/00
G01L 9/12
, B01D 39/14 Z
, B01D 39/16 C
, G01F 1/00 F
, G01L 13/06 C
, G01L 19/00 Z
