特許
J-GLOBAL ID：200903030482748386
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364962
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186373
出願日： 1997年12月20日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 作業者がウエハなどの基板を収納するカセットを例えば基板処理装置の搬入出ステージに置くときに位置決めが用であり、しかも自動搬送ロボットによるカセットの搬送時にも支障にならないようにすること。【解決手段】 蓋22の付いたクローズ型カセット2の台座24に例えば3つの凹部を設け、この凹部に夫々嵌合するピン31を搬入出ステージ3上に形成し、凹部及びピン31の嵌合によりカセット2が位置決めされる。そして搬入出ステージ3に、台座24の後側の両角に輪隔に沿うように例えば塗料によりカギ型のマーク8を形成しておき、作業者がカセット2を搬入出ステージ3に置くときの位置決めの目安とする。
請求項（抜粋）：
複数の基板の搬送用容器であるカセット内から基板を取り出し、この基板に対して処理を行うための基板処理装置において、前記カセットを載置するための載置台と、前記カセットの底面に設けられた位置決め用の係合部と、前記載置台上に設けられ、前記係合部に係合してカセットの位置決めが行われる位置決め用の被係合部と、前記載置台との間でカセットの受け渡しを行うカセット搬送手段と、前記載置台に位置決めされたカセットの周部の輪郭の少なくとも一部に対応するように載置台に設けられ、前記位置決め用の被係合部よりも高さの低い位置決め用のマ-クと、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, H01L 21/68 G
