特許

J-GLOBAL ID：200903030493682808

微小変位素子、及びこれを用いたトンネル電流検出装置、記録再生装置

発明者： 山本 敬介 ,  平井 裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-020673
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190617
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【構成】 Si基板上に圧電体薄膜と、該圧電体薄膜を逆圧電効果により変位させるための電極とを積層してなり、上記圧電体が2μm厚以下のZnO層、電極が2μm厚以下の形状記憶合金薄膜である圧電薄膜カンチレバー状微小変位素子。【効果】 薄膜の積層体であるにもかかわらず反りがひじょうに少く、複数のプローブを有する記録再生装置において作製精度、平面度が高いため、歩留まりが向上すると共に、制御性が高まる。

請求項（抜粋）：

1つ以上の圧電体薄膜と該圧電体薄膜を変位させるための電極とを有する圧電薄膜変位素子において、該変位素子の1部が形状記憶合金薄膜で形成されていることを特徴とする微小変位素子。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G11B 9/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-084741
  
• 特開昭63-133370
  
• 特開平1-179286
  
• 特開平2-216749