特許
J-GLOBAL ID：200903030497016942
搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268188
公開番号（公開出願番号）：特開平7-097050
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 トンネル状の搬送装置に容易にゲートバルブを挿入することのできる搬送装置を提供する。【構成】 トンネル内部で外気と遮断した状態で被搬送物を搬送する、互いに気密に接続可能な複数のトンネル搬送装置1,21と、該トンネル搬送装置間に挿入され該トンネル搬送装置と気密に接続可能で内部を搬送台が通過可能なゲートバルブ11を備えた搬送装置において、前記ゲートバルブ11と搬送方向の長さが同じで、前記トンネル搬送装置間に挿入して気密に接続可能で内部を前記搬送台が通過可能なスペーサ12を介して、前記複数のトンネル搬送装置間を接続する。
請求項（抜粋）：
トンネル内部で外気と遮断した状態で被搬送物を搬送する、互いに気密に接続可能な複数のトンネル搬送装置と、該トンネル搬送装置間に挿入され該トンネル搬送装置と気密に接続可能で内部を搬送台が通過可能なゲートバルブを備えた搬送装置において、前記ゲートバルブと搬送方向の長さが同じで、前記トンネル搬送装置間に挿入して気密に接続可能で内部を前記搬送台が通過可能なスペーサを介して、前記複数のトンネル搬送装置間を接続することを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 54/02
, H01L 21/68
, H02K 41/02
