特許
J-GLOBAL ID：200903030499860279
排ガスの除害方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122360
公開番号（公開出願番号）：特開平10-309434
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 比較的多量のホスフィンと少量のアルシンとを含む排ガスの除害処理を効率よく行える方法を提供する。【解決手段】 アルシンを選択的に除去する固体除去剤を充填したカラム1の下流に燃焼除害装置2を配置し、有害成分として多量のホスフィンと少量のアルシンとを含む排ガスを、前記カラム1内の固体除去剤に接触させてアルシンを除去した後、燃焼除害装置2のバーナー3の火炎中でホスフィンを燃焼除害処理する。
請求項（抜粋）：
有害成分として多量のホスフィンと少量のアルシンとを含む排ガスの除害方法であって、前記排ガスを、アルシンを選択的に除去する固体除去剤に接触させた後、バーナー火炎中に導入することを特徴とする排ガスの除害方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 53/34 120 A
, B01J 20/02 B
