特許
J-GLOBAL ID：200903030507956817
形状計測装置および形状計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-356597
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183160
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 被測定物の自由曲面を含む複雑な3次元形状を導体か不導体かによらず高精度かつ簡便に計測可能な形状計測装置および形状計測方法を提供する。【解決手段】 被測定物4をX-Y-Zステージ6によって鉛直方向Zに移動させると、被測定物4と触針7Aの先端部7dとが接触し、触針7Aがたわむ。画像処理部は、光学顕微鏡9が撮像した触針7Aの画像に基づいて接触を検知する。全体制御部は、X-Y-Zステージ6を制御して被測定物4の表面を鉛直方向Zおよび水平方向X,Yに走査し、画像処理部による接触検知に基づいて被測定物4の表面の3次元座標を取得する。
請求項（抜粋）：
先端が所定の方向に折曲された弾性を有する触針と、被測定物を前記触針に対して前記所定の方向に対応する主走査方向に相対的に移動させて前記触針との間で接離動作を行う主走査手段と、前記主走査手段の前記接離動作によって前記触針の前記先端が前記被測定物の表面に接触して発生する前記触針のたわみを検出するたわみ検出手段と、前記被測定物を前記触針に対して前記主走査方向に直交する副走査方向に相対的に移動させる副走査手段と、前記主走査手段および前記副走査手段を制御して前記被測定物を前記触針に対して相対的に移動させることにより前記被測定物の表面を前記主走査方向に走査するとともに、所定の走査幅で前記副走査方向に走査し、前記たわみ検出手段の検出に基づいて前記被測定物の表面の3次元座標を取得する制御手段とを備えたことを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件)：
G01B 21/20 101
, G01B 11/16
G01B 21/20 101 Z
, G01B 11/16 H
