特許
J-GLOBAL ID：200903030508724600
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220070
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073509
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 光ディスクのグルーブ及びピットを形成するための露光装置に関し、形成する溝のエッジを記録パワーによらず鋭利に形成できる露光装置を提供することを目的とする。【構成】 単一のレーザ光をハーフミラー等により複数の光に分割し、分割した複数の光をリレーレンズ等を用いて互いに変移させ、互いに変移させた複数の光を再びハーフミラー等により合成して一つの記録光とし、ガラス原盤等に照射する。
請求項（抜粋）：
形成すべき溝に対応した記録光を露光対象(1)に照射する露光装置において、光軸が互いに異なる位置に変位された複数の光(L11〜L14;L21〜L26)を合成することにより前記記録光を生成する記録光生成手段(1,2,5,9,11,21,3;1,2,5,9,11,51,3;1,2,5,61,3)を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
G11B 7/26 501
, G03F 7/20
