ウェーハ乾燥装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146975
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335299
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】簡素な構成で、ウエット洗浄されたウェーハを乾燥する際に用いられる有機溶剤を、外部に全く漏らすことなく、乾燥を行うことのできるウェーハ乾燥装置を提供すること。【解決手段】洗浄槽20の内槽21に浸水されているウェーハWを覆うように、上方から密閉槽30を降下させ、密閉槽30内に、内槽21の水によって水封された内部空間31を形成する。そして、この内部空間31に、ミスト状のイソプロピルアルコールを含有したN2 ガスを供給し続け、このガスの圧力により内部空間31の液面を降下させながら、マランゴニ現象を用いて、ウェーハWを乾燥させる。

請求項（抜粋）：

ウェット洗浄されたウェーハを、有機溶剤を用いて乾燥するウェーハ乾燥装置において、水封された空間で前記ウェーハを乾燥するようにしたことを特徴とするウェーハ乾燥装置。

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