特許

J-GLOBAL ID：200903030521211956

ブレーズ格子製造方法

発明者： 新田 佳樹
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360652
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201907
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 高精度のブレーズ格子を作製する。【構成】 基板上に塗布したポジ型レジストを露光,現像して基板上に所定のグレーティングパターンを形成する工程と、このグレーティングパターンの稜線が水平面と平行な状態を維持した状態で基板を傾斜させ、この状態で基板を回転させながらエネルギー硬化型樹脂を塗布してブレーズの斜面に対応したパターンを形成する工程と、グレーティングパターンの稜線が水平面と平行な状態でエネルギー硬化型樹脂を硬化させる工程とを備える。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布したポジ型レジストを露光,現像して基板上に所定のグレーティングパターンを形成する工程と、このグレーティングパターンの稜線が水平面と平行な状態を維持した状態で基板を傾斜させ、この状態で基板を回転させながらエネルギー硬化型樹脂を塗布してブレーズの斜面に対応したパターンを形成する工程と、前記グレーティングパターンの稜線が水平面と平行な状態で前記エネルギー硬化型樹脂を硬化させる工程とを備えていることを特徴とするブレーズ格子製造方法。