特許

J-GLOBAL ID：200903030521765218

狭帯域エキシマレーザにおけるモニタボックス

発明者： 塩 耕史 ,  仏師田 了 ,  中根 基晴
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035773
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233853
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 パージガス雰囲気内におけるモニタ精度を向上する。【解決手段】 狭帯域エキシマレーザの出力レーザ光を分岐した分岐光をパージガス雰囲気内の分光素子26にてモニタするモニタボックスにおいて、分光素子26の少なくとも光入射側におけるパージガスの流れを減殺するパージガス流減殺手段を設け、パージガス流減殺手段をガス流に対して邪魔板作用をする隔壁40にて構成する。

請求項（抜粋）：

狭帯域エキシマレーザの出力レーザ光を分岐した分岐光をパージガス雰囲気内の分光素子にてモニタするモニタボックスにおいて、分光素子の少なくとも光入射側におけるパージガスの流れを減殺するパージガス流減殺手段を設けたことを特徴とする狭帯域エキシマレーザにおけるモニタボックス。

IPC (3件)：

H01S 3/00 ,  H01S 3/136 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/00 G ,  H01S 3/136 ,  H01S 3/223 E