特許
J-GLOBAL ID:200903030521884187
窒化ケイ素質焼結体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青木 朗 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-272820
公開番号(公開出願番号):特開平5-105520
出願日: 1991年10月21日
公開日(公表日): 1993年04月27日
要約:
【要約】【目的】 高靱性でかつ1400°C強度(4点曲げ強度)に優れ(600MPa 以上)、ガスタービンエンジン用に使用できるSi3 N4焼結体を提供する。【構成】 平均粒径0.5μm以下で金属元素不純物総量100ppm 以下のSi3 N4 粉末に、焼結助剤として平均粒径0.5μm以下のSc2 O3 とY2 O3 の粉末3〜8wt%と、平均粒径0.3μm以下の非晶質Si-N-C粉末2〜15wt%とを混合して成形し、該成形体を窒素ガス雰囲気で1500〜1800°Cの温度で焼結する窒化ケイ素質焼結体の製造方法。
請求項(抜粋):
平均粒径0.5μm以下で金属元素不純物総量100ppm 以下のSi3 N4 粉末に、焼結助剤として平均粒径0.5μm以下のSc2 O3 とY2 O3 の粉末3〜8wt%と、平均粒径0.3μm以下の非晶質Si-N-C粉末2〜15wt%とを混合して成形し、該成形体を窒素ガス雰囲気で1500〜1800°Cの温度で焼結することを特徴とする窒化ケイ素質焼結体の製造方法。
IPC (2件):
C04B 35/58 102
, C04B 35/58
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