照明光学装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279939
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267894
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】従来よりも格段に照明効率が高く、円弧状に形成される照明領域での開口数が方向によらずほぼ一様となる高性能な照明光学装置を提供にある。【構成】各射出角を持って射出する光束を供給する光源を形成する光源手段(1,2) と、この光源手段(1,2) からの光束を集光して再び光源を形成する光源再形成光学系3と、その光源再形成光学系3により再形成される光源から各射出角を持って射出する光束を集光して被照明物体を照明するコンデンサー光学系4とを有し、その光源再形成光学系は、光源手段(1,2) からの光束を変換して、コンデンサー光学系4に入射する光束の各入射方向においてほぼ一定の光束径を持つ光束を形成する構成とした。

請求項（抜粋）：

各射出角を持って射出する光束を供給する光源を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して再び光源を形成する光源再形成光学系と、該光源再形成光学系により再形成される光源から各射出角を持って射出する光束を集光して被照明物体を照明するコンデンサー光学系とを有し、前記光源再形成光学系は、前記光源手段からの光束を変換して、前記コンデンサー光学系に入射する光束の各入射方向においてほぼ一定の光束径を持つ光束を形成することを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/30 , G03B 27/32 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521

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