特許

J-GLOBAL ID：200903030527022713

光電変換装置の製造方法

発明者： 釜下 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-215697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033492
出願日： 2000年07月17日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】パッケージに組み立てた後の良品検査で歩留まりが低下することを防止する光電変換装置の製造方法を提供する。【解決手段】収納容器に受光素子を取り付けて前記受光素子と収納容器とを電気的に接続する工程と、前記収納容器にガラスカバーを接着することなく仮封止して、仮留め品を形成する工程と、前記仮留め品を測定して良品と不良品とを判定する良品検査工程と、前記良品検査工程の後に仮封止を開封することなく前記検査工程で良品と判定された仮留め品の前記ガラスカバーを前記収納容器に接着する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

収納容器に受光素子を取り付けて前記受光素子と収納容器とを電気的に接続する工程と、前記収納容器にガラスカバーを接着することなく仮封止して、仮留め品を形成する工程と、前記仮留め品を測定して良品と不良品とを判定する良品検査工程と、及び、前記良品検査工程の後に仮封止を開封することなく、前記検査工程で良品と判定された仮留め品の前記ガラスカバーを前記収納容器に接着する工程とを有することを特徴とする光電変換装置の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/02 ,  H01L 23/02

FI (3件)：

H01L 23/02 Z ,  H01L 23/02 F ,  H01L 31/02 B

Fターム (6件)：

5F088BA18 ,  5F088BA20 ,  5F088JA01 ,  5F088JA03 ,  5F088JA05 ,  5F088JA20