特許
J-GLOBAL ID：200903030527738387
超音波薄板剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225374
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048602
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、機械的振動によって積層した薄板から1枚の薄板を剥離する薄板剥離装置に関するもので、精密に仕上げられた薄板に傷を付けたり、変形させたりしないようにして薄板を剥離する超音波薄板剥離装置を提供することを目的とする。【構成】 積層した薄板2の表面の薄板2’を超音波振動子7に連結した真空吸着器3で固定し、駆動装置8により超音波振動子7に高周波電圧を印加する。超音波振動子7で真空吸着器3を介して薄板2’に励起された超音波振動によって、薄板2’を他の薄板2から剥離する。また、複数の振動子7を薄板2’に位相がずれた位置で接触させ、それぞれの振動子に異なった位相の高周波電圧を印加し、薄板2’に進行波を生じさせて他の薄板2から剥離する。
請求項（抜粋）：
真空吸着器などの薄板を保持する保持器と、該保持器に設置または連結した超音波振動子と、該保持器を移動させる移動器とから構成され、該保持器を介して超音波振動子によって薄板を超音波振動させ、重ね合わさった薄板から1枚の薄板を離脱させることを特徴とする超音波薄板剥離装置。
IPC (3件)：
B65H 3/62
, B65H 3/08 310
, H01L 41/09
