特許
J-GLOBAL ID:200903030529435950
接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
富田 和子 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-216417
公開番号(公開出願番号):特開平10-060398
出願日: 1996年08月16日
公開日(公表日): 1998年03月03日
要約:
【要約】【課題】銅フレームに半導体素子を接着した樹脂封止型半導体装置でも、リフローソルダリング時のリフロークラックが回避できる。【解決手段】平均粒径が50μm以下で、比表面積が0.1〜100m2/gの、95重量%以上が窒化ホウ素からなるフィラー粒子と、樹脂とを含む半導体素子用接着剤2を用いて半導体素子1をリードフレーム4に接着する。
請求項(抜粋):
有機高分子化合物またはその前駆体と、平均粒径が50μm以下、比表面積が0.1〜100m2/gのフィラー粒子とを含み、上記フィラー粒子は、95重量%以上が窒化ホウ素からなることを特徴とする接着剤。
IPC (3件):
C09J 11/04 JAT
, H01L 21/52
, C09J163/00 JFN
FI (3件):
C09J 11/04 JAT
, H01L 21/52 E
, C09J163/00 JFN
引用特許:
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