特許
J-GLOBAL ID：200903030534536536
シリコンウエハ熱処理用石英ガラス治具およびその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-228966
公開番号（公開出願番号）：特開平8-073296
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【構成】ウエハ載置用部材と該部材を支持する支持部材が一体に溶接されているシリコンウエハ熱処理用石英ガラス治具において、前記支持部材がアルミニウム元素含有量5〜20ppm、リチウム元素含有量0.1〜1ppm、ナトリウム元素含有量0.1ppm以下の石英ガラスで形成されていることを特徴とするシリコンウエハ熱処理用石英ガラス治具およびその使用方法。【効果】本発明の治具を用いた熱処理では、シリコンウエハを汚染することがなく、しかも処理したシリコンウエハに均一で良質な酸化膜を形成できる。かかる本発明の治具は炉内に例えナトリウム汚染源があっても支持部材で一定の時間汚染を防止できるので、シリコンウエハの熱処理を継続できる利点を有する。また、本発明の治具は、分析用突起部を分析するという簡便な手段で治具の寿命を測定できその使用を効果的に判断できる。
請求項（抜粋）：
ウエハ載置用部材と該部材を支持する支持部材が一体に溶接されてなるシリコンウエハ熱処理用石英ガラス治具において、前記支持部材がアルミニウム元素含有量5〜20ppm、リチウム元素含有量0.1〜1ppm、ナトリウム元素含有量0.1ppm以下の石英ガラスで形成されていることを特徴とするシリコンウエハ熱処理用石英ガラス治具。
IPC (9件)：
C30B 29/06
, B65D 85/86
, C03B 20/00
, C03C 3/06
, C30B 33/02
, H01L 21/22 501
, H01L 21/31
, H01L 21/324
, H01L 21/68
