特許

J-GLOBAL ID：200903030554392654

材料厚さの非接触測定方法及び装置

発明者： 奥野 眞
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007481
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194137
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 被測定物の温度が変化するような環境下でも、非接触で材料の厚さを高精度で測定する。【解決手段】 材料表面の異なる位置PL、PSにレーザを照射して、縦波と横波超音波を発生させ、両者の伝搬時間tL、tSを光学干渉計24で検出し、更に材料温度を加味した音速を求めることにより、温度変動による誤差の生じない材料厚みdを測定する。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面上の2つの位置PL、PSに相異なるタイミングでレーザビームを照射し、第1の位置に照射したレーザによって被測定物中に超音波縦波を発生させると共に、第2の位置に照射したレーザによって被測定物中に超音波横波を発生させ、超音波検出用のレーザ及び光学干渉計からなる非接触超音波検出器によって、これらの超音波を検出し、被測定物中の超音波縦波及び超音波横波の伝搬時間tL及びtSを測定し、予め求めておいたtL及びtSと被測定物中の超音波音速との関係式及び前記2つの位置PLとPSの距離を用いて、tLとtSから被測定物中の超音波音速を求め、この音速と測定した超音波伝搬時間から被測定物の厚さを算出することを特徴とする材料厚さの非接触測定方法。

IPC (3件)：

G01B 17/02 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18

FI (3件)：

G01B 17/02 Z ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18

Fターム (21件)：

2F068AA28 ,  2F068BB05 ,  2F068BB23 ,  2F068CC15 ,  2F068FF11 ,  2F068FF12 ,  2F068FF25 ,  2F068GG07 ,  2F068HH01 ,  2F068HH02 ,  2F068KK15 ,  2F068KK17 ,  2F068TT07 ,  2G047AA07 ,  2G047AB04 ,  2G047BC02 ,  2G047BC18 ,  2G047CA04 ,  2G047CB01 ,  2G047CB02 ,  2G047GD01