特許
J-GLOBAL ID：200903030562126580
ICのハンドリング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294984
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107306
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 ICハンドラの処理能力の向上及びICの外観劣化の防止を行う。【構成】 測定部へのICの供給,収納を行うハンド部を測定部のICソケット29と位置決めステージ10の上方に備え、各ハンド部は測定部と位置決めステージとの中間点を回転中心とした単一部材18に取付けられている。また、各ハンド部には、ICを吸着する吸着部14a,14bと、ICを測定部のICソケット29に押し付けるプッシャー部13a,13bと、測定部のICソケット29と、位置決めステージ10での位置決めを行う位置決めピン15a,15bとを有している。また、単一部材18における各ハンド部の動作円周上の中間位置にクリーニング機構を有する。
請求項（抜粋）：
測定部へのICの供給,収納を行うハンド部と、測定部前後のICの位置決めを行う位置決めステージとを持つICのハンドリング装置であって、測定部と位置決めステージとの中間点を回転中心とした回転移動可能な単一部材を、測定部と位置決めステージとの上方に備え、前記単一部材の測定部と位置決めステージの上方に、それぞれ前記ハンド部を有することを特徴とするICのハンドリング装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/00
, H01L 21/66
