特許

J-GLOBAL ID：200903030567206868

端面発光素子およびその製法

発明者： 楠 薫 ,  虫上 雅人
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169667
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013715
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 半導体層の両面に電極膜が形成され、側面から発光する端面発光素子の電極膜のパターニングをしなくて劈開できるようにし、半導体層の薄い素子も容易に形成できるようにする。【構成】 化合物半導体層が積層され、該積層された半導体ウエハ1の両面に電極膜12、13が形成されて側面から発光する端面発光素子であって、前記電極膜の最外層のAu膜3、7が1500〜2500Åの厚さに形成されている。

請求項（抜粋）：

p型層とn型層の化合物半導体層の積層により半導体チップが形成され、該半導体チップの両面の全面に電極膜が形成され、該半導体チップの側面から発光する端面発光素子であって、前記電極膜の最外層はAu膜で形成され、かつ、該Au膜が1500〜2500Åに形成されていることを特徴とする端面発光素子。

IPC (2件)：

H01S 3/18 ,  H01L 33/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-211780
  
• 特開昭57-027090
  
• 特開平3-064981