特許
J-GLOBAL ID:200903030572768718
クリーンルームの設計方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
清水 千春
, 尾股 行雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-189051
公開番号(公開出願番号):特開2004-028518
出願日: 2002年06月28日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】クリーンルーム内の微粒子数を把握して、それを適正数に抑制することができるクリーンルームの設計方法を提供する。【解決手段】クリーンルーム(CR)内の所定箇所の空気齢が所定値以下となるように、クリーンルーム(CR)を設計する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
クリーンルーム内の所定箇所の空気齢が所定値以下となるように、クリーンルームを設計することを特徴とするクリーンルームの設計方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (2件):
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