特許
J-GLOBAL ID:200903030576913666

シート材保持装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-116137
公開番号(公開出願番号):特開平11-292342
出願日: 1998年04月10日
公開日(公表日): 1999年10月26日
要約:
【要約】【課題】 シート材保持テーブル上でシート材にしわを発生させないようにし、かつ、しわが発生しても速やかに除去することができるシート材保持装置を提供する。【解決手段】 シート材保持テーブル3にはシート材1を吸着するための多数の吸着孔2が設けてある。吸着孔2の内側を負圧にして吸着動作を行わせるためのバルブ4も多数設けてある。吸着順序設定手段、タイミング調整手段、吸着起点部設定手段を有する制御装置11の作用により、吸着の起点となる吸着起点部12から隣接する領域へと、順々にシート材1の吸着領域を広げていくようにする。
請求項(抜粋):
シート材を吸着するための多数の吸着孔を有するシート材保持テーブルにシート材を吸着保持するシート材保持装置において、吸着孔は複数の吸着領域に分割されており、吸着の起点となる吸着起点部から隣接する領域へと、順々にシート材の吸着領域を広げていくようにするために、吸着起点部設定手段、吸着順序設定手段、吸着タイミングをずらすタイミング調整手段を有する制御装置を備えたことを特徴とするシート材保持装置。

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