特許

J-GLOBAL ID：200903030582580571

粒状物の自動計量供給装置

発明者： 小田 道明 ,  須貝 伸一 ,  田代 智博
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065317
公開番号（公開出願番号）：特開平9-227271
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 本発明はドラム缶に収容されるシリコン粒状原料を小分けする作業を省力化し、正確な量で小分けするとともに、粉塵を処理してクリーンな環境を維持することを目的とする。【解決手段】 シリコン粒状原料を収容するドラム缶1の上部開口部にバルブ付コーン部材2を被せて一体化し、回転式ドラム缶反転機3でドラム缶1を反転させる。一方、シリコン粒状原料を移載する石英リチャージ管7を電子天秤5a上に載せて、シリコン粒状原料の供給量を測定するとともに、バルブ制御ユニット4によって所定の設定重量分が移載されるまでバルブ2bを開くようにし、設定重量に達したらバルブ2bを閉じる。また、バルブ2bの周辺に発生する粉塵を集塵機構23で吸引処理する。

請求項（抜粋）：

ドラム缶内に収容されるシリコン粒状原料を所定の移載容器内に所定重量供給するようにした粒状物の自動計量供給装置において、前記ドラム缶の供給口の出口部に装着され且つバルブ制御手段によって開閉が制御されるバルブと、前記移載容器内に供給されるシリコン粒状原料の重量を読取る重量測定手段を備え、前記バルブ制御手段は、バルブ開の入力信号が与えられた後、前記重量測定手段の読取り値が所定の設定重量に達するまでバルブを開状態に維持し、設定重量に達した時点でバルブを閉に制御することを特徴とする粒状物の自動計量供給装置。

IPC (6件)：

C30B 15/00 ,  B01J 4/02 ,  C30B 29/06 ,  C30B 35/00 ,  H01L 21/208 ,  G05D 7/00

FI (6件)：

C30B 15/00 Z ,  B01J 4/02 C ,  C30B 29/06 A ,  C30B 35/00 ,  H01L 21/208 P ,  G05D 7/00 B