特許
J-GLOBAL ID：200903030585932215
微小電界放出陰極装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 康文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221708
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068783
出願日： 1992年08月20日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】半導体の微細加工技術を用いて作製される微小電界放出陰極装置に関し、微小電界放出陰極装置における配線パターンの剥離を未然に防止することを目的とする。【構成】基板上に形成した鋭く尖ったエミッタティップ部から電界放出により電子ビームを取り出す微小電界放出陰極装置において、引き出し電極などの配線パターン部を、シリサイドあるいはシリサイドと絶縁膜との間にシリコン層を入れるいわゆるポリサイドで構成する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した鋭く尖ったエミッタティップ部から電界放出により電子ビームを取り出す微小電界放出陰極装置において、引き出し電極などの配線パターン部を、シリサイドあるいはシリサイドと絶縁膜との間にシリコン層を入れるいわゆるポリサイドで構成してなることを特徴とする微小電界放出陰極装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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