特許

J-GLOBAL ID：200903030600286643

アルミニウム合金薄膜の形成装置

発明者： 山本 浩 ,  近藤 英一 ,  片桐 智治 ,  太田 与洋
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-056002
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267869
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 各原料ガスを最適な温度で供給し、良質な合金薄膜を形成できるアルミニウム合金薄膜の形成装置を提供することにある。【構成】 形成装置は、化学気相成長によって合金薄膜を形成する反応容器10とバブラー20、30を備える。バブラー20で発生した原料ガスは供給ノズル14を介し、また、バブラー30で発生した原料ガスは供給ノズル15を介してそれぞれ別々に反応容器10内に導入する。成膜時には、基板12を支持するサセプタ11をベルトコンベア16によって往復動させる。

請求項（抜粋）：

アルミニウム化合物原料を封入する第1収容体及び銅化合物原料を封入する第2収容体と、前記各収容体で発生した各原料ガスが導入され、化学気相成長によって合金薄膜を形成する反応容器と、第1収容体で発生したアルミニウム原料ガスを前記反応容器内に導入する第1の原料供給ノズルと、第2収容体で発生した銅原料ガスを前記反応容器内に導入する第2の原料供給ノズルと、を備えたアルミニウム合金薄膜の形成装置。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/285 301 ,  H01L 21/365 ,  H01L 21/3205

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-282694