粒子分析装置及び複数の焦点位置を有するレンズ要素を一体化した複合レンズ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076442
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023447
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【目的】複合レンズの位置決めができ、異なる散乱角度の光を分離できる粒子分析装置を提供すること【構成】レーザー光源1から出射された光の光路上にフローセル2,複合レンズ15,第1〜第3検出器16〜18の順に配置する。複合レンズは、凸レンズ15aと、レンズ要素15b,15cからなり、各レンズの焦点距離の長さは異なる。複合レンズが正しい姿勢にあると、凸レンズに照射された光は第1検出器に結像するので、複合レンズの位置決めが行える。フローセル内の粒子にレーザー光が照射されると、前方散乱光が発生し、散乱角度の小さい前方小角散乱光は、第1レンズ要素15bに照射され、そこにおいて集光されて第2検出器17に受光される。散乱角度の大きい前方大角散乱光は、最外周の第2レンズ要素15cに照射され、そこにおいて集光されて複合レンズに最も遠い第3検出器18に受光される。

請求項（抜粋）：

粒子に光を照射することにより発生する散乱光のうち、異なる散乱角度のものを分離して検出することにより前記粒子の分類を行うようにした粒子分析装置において、前記散乱光の光路を遮るようにして配置された、焦点位置の異なる複数のリング状のレンズ要素を同心円上に位置させた状態で一体化された複合レンズと、前記複数のレンズ要素の焦点位置に応じた前記散乱光の結像位置にそれぞれ配置された各散乱角度検出用の検出器と、前記複数の検出器の検出出力に基づいて、前記粒子の分類を行う分析手段とを備えたことを特徴とする粒子分析装置。

IPC (3件)：

G01N 15/14 , G02B 3/00 , G02B 3/08

FI (4件)：

G01N 15/14 P , G02B 3/00 A , G02B 3/00 Z , G02B 3/08

引用特許：

出願人引用 (3件)

特表平3-505131
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-052063 出願人：日本電気株式会社
特開昭55-124028

審査官引用 (2件)

特表平3-505131
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-052063 出願人：日本電気株式会社

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