特許
J-GLOBAL ID：200903030601859558
ダイボンド精度自動補正システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-347011
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151527
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：
【要約】【課題】 工程中の部品状態変化に影響されず、設備の稼働状態下でボンド精度の自動補正可能なダイボンディング精度自動補正システムの提供。【解決手段】 基準面に対するチップ1とパッケージ2の位置判定画像を、検査撮像カメラ5a、5bが撮像し、画像処理回路17a、17bで画像処理し、位置判定画像データとして画像データメモリ10に格納し、検査撮像カメラ5cが設定位置でボンドされた部品Cの検査画像わ撮像し、画像処理回路17cで画像処理し、検査画像データとして画像データメモリ10に格納し、位置判定画像データと検査画像データからなる基礎データが複数回格納され、複数の基礎データから得られるボンド精度データの中央値データによりチップ1とパッケージ2の位置補正のオフセット量△Sが演算され、チップ1とパッケージ2の少なくとも一方の位置設定値が自動帰還補正され、設備稼働下でボンド精度を高精度に制御可能になる。
請求項（抜粋）：
チップと該チップがボンディングされるボンド対象体との基準面に対する二次元相対位置を設定する位置設定手段と、該位置設定手段によって前記二次元相対位置が設定された前記チップ及び前記ボンド対象体の該設定位置での位置判定画像を撮像する位置検出撮像手段と、前記位置設定手段による位置設定が行われた状態で、互いにボンディングされる前記チップ及び前記ボンド対象体の検査画像を撮像する検査画像撮像手段と、前記位置検出撮像手段からの位置判定画像が画像処理された位置判定画像データと、前記検査画像撮像手段からの検査画像が画像処理された検査画像データとを、互いに対応する基礎データとして格納する基礎データ格納手段と、予め設定される複数の基礎データに基づいて、前記位置設定手段を補正制御する補正データを演算する補正データ演算手段と、該補正データ演算手段で演算される補正データに基づいて、前記位置設定手段を帰還補正制御して、前記チップと前記ボンド対象体との少なくとも一方の前記二次元相対位置を微調整する補正制御手段とを有することを特徴とするダイボンド精度自動補正システム。
Fターム (3件)：
5F047FA72
, 5F047FA79
, 5F047FA83
