特許

J-GLOBAL ID：200903030603495286

アクティブ除振装置

発明者： 木村 茂樹 ,  岡本 修一
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105017
公開番号（公開出願番号）：特開平9-291971
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 組付け時における水平方向の位置ずれだけでなく、こじり方向の位置ずれも吸収緩和させて、微振動に対して所定の除振性能を確実、良好に発揮させることができるようにする。【解決手段】 ピエゾアクチュエータ3と該ピエゾアクチュエータ3の駆動方向の少なくとも一端面に配設され複数枚の薄肉弾性ゴム5...および剛性板材6...を積層して構成されている剪断力吸収部材4との間に、少なくともピエゾアクチュエータ3の駆動方向xに対して三次元方向の一定範囲内で両者の相対変位を許容する回転可能な球体7を介在させて、下部架台とこれに対向する機器搭載台との間に組付ける時の両者の水平方向およびこじり方向の位置ずれを吸収緩和させるように構成している。

請求項（抜粋）：

ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエータの駆動方向の少なくとも一端面に配設された剪断力吸収部材からなり、この剪断力吸収部材が薄肉弾性ゴムと剛性板材とを三層以上に積層して構成されているアクティブ除振装置において、上記剪断力吸収部材とピエゾアクチュエータとの間に、少なくともピエゾアクチュエータの駆動方向に対して三次元方向の一定範囲内で両者の相対変位を許容する回転可能な球体を介在させていることを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/04 ,  F16F 15/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/04 E ,  F16F 15/02 A ,  H01L 21/30 503 F