特許

J-GLOBAL ID：200903030604807001

三弗化窒素ガスの精製方法

発明者： 森川 文博 ,  平井 栄一
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-119838
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330316
出願日： 1994年06月01日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】 三弗化窒素ガス中に不純物である二弗化二窒素(N2 F2 )と四弗化二窒素(N2 F4 )を発熱及び爆発反応無しに、簡単にしかも完全に除去する三弗化窒素ガスの精製方法を提供することにある。【構成】 予め三弗化窒素ガス中に不純物として含有される弗素、二弗化酸素及び弗化水素を除去した後、該三弗化窒素ガスを活性炭層(好ましくは水に含浸した活性炭よりなる活性炭層)に通気する事を特徴とする三弗化窒素ガスの精製方法。

請求項（抜粋）：

予め三弗化窒素ガス中に不純物として含有される弗素、二弗化酸素及び弗化水素を除去した後、該三弗化窒素ガスを活性炭層に通気する事を特徴とする三弗化窒素ガスの精製方法。