特許
J-GLOBAL ID：200903030617632391
除振マウント装置、露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-096653
公開番号（公開出願番号）：特開2005-282696
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】高精度の制御が可能な除振マウント技術を提供する。【解決手段】除振マウント装置は、構造物を支持する気体ばねと、気体ばねの内圧を制御する制御器とを備える。制御器は、圧力源に接続される一次側空間302と、気体ばねに接続される二次側空間304と、二次側空間304に連通した背圧空間310と、背圧空間310に接続されたノズル311とそれに対向したフラッパ312との隙間を変化させることにより、背圧空間310からの排気を介して、背圧空間310の圧力を制御する背圧制御機構と、背圧空間310と二次側空間304との圧力差に応じて、一次側空間302から二次側空間304への給気又は二次側空間304から外部への排気を行うことにより、二次側空間304の圧力を制御する圧力制御機構とを有する。フラッパ312はノズル311に対向するテーパ部を有し、ノズル311はその内面がその出口に向かって広がっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
構造物の振動を除去する除振マウント装置であって、
前記構造物を支持する気体ばねと、
前記気体ばねの内圧を制御する制御器とを備え、
前記制御器は、
圧力源に接続される一次側空間と、
前記気体ばねに接続される二次側空間と、
前記二次側空間に連通した背圧空間と、
前記背圧空間に接続されたノズルと前記ノズルに対向したフラッパとの隙間を変化させることにより、前記背圧空間からの排気を介して、前記背圧空間の圧力を制御する背圧制御機構と、
前記背圧空間と前記二次側空間との圧力差に応じて、前記一次側空間から前記二次側空間への給気又は前記二次側空間から外部への排気を行うことにより、前記二次側空間の圧力を制御する圧力制御機構とを有し、
前記フラッパは前記ノズルに対向するテーパ部を有し、前記ノズルはその内面がその出口に向かって広がっている
ことを特徴とする除振マウント装置。
IPC (5件)：
F16F15/027
, F16F15/02
, F16M7/00
, G03F7/20
, H01L21/027
F16F15/027
, F16F15/02 A
, F16M7/00 J
, G03F7/20 521
, H01L21/30 503F
3J048AB08
, 3J048AB11
, 3J048AC08
, 3J048AD02
, 3J048DA01
, 3J048EA07
, 3J048EA13
, 5F046AA23
, 5F046DA27
出願人引用 (2件)
-
特許第3219198号公報
-
電空変換式空気レギュレータ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-068353
出願人：藤倉ゴム工業株式会社
審査官引用 (6件)
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