特許
J-GLOBAL ID：200903030619622768
フオトレジスト組成物及びエツチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016232
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181281
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 基板との密着性が高く、ウェットエッチング法においても微細なパターンを再現することが可能なフオトレジスト組成物、及びそれを用いたエツチング方法を提供する。【構成】 ポジ型またはネガ型フオトレジスト組成物が、(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)感光性化合物、及び(c)(a)に対して0.001〜10重量%の有機りん酸化合物を含有する事を特徴とし、それをウエツトエツチングの際のレジストとして使用する。
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)感光性化合物、及び(c)(a)に対して0.001〜10重量%の有機りん酸化合物を含有する事を特徴とするポジ型またはネガ型フオトレジスト組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/085
, G03F 7/004 503
, G03F 7/008
, G03F 7/038 505
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
