特許
J-GLOBAL ID：200903030621342039
石英系光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116144
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331844
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 凹型プロセスでの本質的な課題であった凹部でのコア部の発泡および変形を解決するためになされたもので、再現性が高く、強結合を有する方向性結合器を形成できる石英系光導波路構造及びその製造方法を提供する。【構成】 基板11上に下部クラッド層12としてドープト石英ガラスを形成し、前記下部クラッド層12よりコア部となる部分をエッチングで除去し、下部クラッドガラスより屈折率が高く軟化温度の低いドープト石英ガラスをコア層として堆積した後、前記コア層の不要部をエッチングにより除去して光伝搬作用を有するコア部13を形成し、下部クラッド層12の屈折率とほぼ同じ屈折率の上部クラッド層14を形成することにより、石英系光導波路を形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された下部クラッド層、コア層、上部クラッド層からなる石英系光導波路において、前記下部クラッド層に酸化物またはフッ素を少なくとも1種類含有し、前記コア層に酸化物またはフッ素を少なくとも1種類含有し、かつ前記コア層が前記下部クラッド層よりも屈折率が高く軟化温度が低い材料であることを特徴とする石英系光導波路。
引用特許：
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