半導体装置試験用測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049165
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043211
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】リード線が曲がるような不良が発生しないセルフクリーニング作用を有する半導体装置試験用測定装置の測定端子を提供する。【構成】測定を行う場合、モータ12が回動すると、回動アーム11が矢印Cの方向に回動する。更に、回動アーム11の矢印C方向の回動により、スライダー8はばね9の付勢力により矢印A方向へ移動され、測定端子3も矢印A方向に移動してリード線2と当接する。この際、測定部3aの接触面3cがリード線2の被接触面に接触する際、測定部3aの接触面3cがほぼ平らに接触し、測定部3aを移動させる駆動力は基部3bに対する所定角度の傾斜により、測定部3aをリード線2へ押圧する接触圧力と測定部3aを矢印B方向に摺動させる摺動力とに分解され、リード線2に作用する力は小さくなり、これによりリード線2が曲がることを防止する。

請求項（抜粋）：

基部と、この基部に対して所定角度傾斜して半導体装置のリード線に接触する測定部からなる1対の測定端子と、リード線の被接触面に測定部の接触面がほぼ平らに接触するように測定端子を進退する駆動手段と、を備えることを特徴とする半導体装置試験用測定装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 , G01R 1/073

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-284777
特開昭59-190674
特開平1-284777

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