特許

J-GLOBAL ID：200903030629570030

面形状測定装置

発明者： 岡部 正治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290290
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108625
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 複雑で微細な構造を持つ被測定物、例えばインクジェットプリンタのヘッドの3次元形状を高精度に測定することができる面形状測定装置を得ること。【解決手段】 光源から放射される光を被測定物と参照面に導光し、双方からの光束を干渉させる干渉光学系と、該干渉光学系で得られる干渉情報を撮像する撮像手段と、該撮像手段からの信号を用いて該被測定物からの面形状を求める画像処理手段とを有する面形状測定装置において、該被測定物上に干渉縞が形成されない干渉縞非形成状態の画像情報を得るための画像取得手段を有し、該干渉縞非形成状態の画像情報から該被測定物の横方向の寸法情報を該画像処理手段により得ていること。

請求項（抜粋）：

光源から放射される光を被測定物と参照面に導光し、双方からの光束を干渉させる干渉光学系と、該干渉光学系で得られる干渉情報を撮像する撮像手段と、該撮像手段からの信号を用いて該被測定物からの面形状を求める画像処理手段とを有する面形状測定装置において、該被測定物上に干渉縞が形成されない干渉縞非形成状態の画像情報を得るための画像取得手段を有し、該干渉縞非形成状態の画像情報から該被測定物の横方向の寸法情報を該画像処理手段により得ていることを特徴とする面形状測定装置。