特許
J-GLOBAL ID：200903030630564877
窒化アルミニウム基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103495
公開番号（公開出願番号）：特開平8-295566
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【目的】 Al N基板に関し、研磨不要の平坦な基板の製造方法の実用化を目的とする。【構成】 Al N基板の製造工程において、セッターおよび矯正基板として脱脂体と同形で面積が脱脂体よりも小さく且つ脱脂体との接触面が鏡面であるフラット基板と、このフラット基板を囲んで寸法が脱脂体よりも大きく、且つ接触面の表面粗度がフラット基板よりも大きく枠状をしたフレーム基板との分割体よりなるものを用い、脱脂体の焼結を行うことを特徴としてAl N基板の製造方法を構成する。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム・グリーンシートを複数枚積層した積層体を加熱脱脂して脱脂体とし、該脱脂体を焼結炉中のセッター上に置き、矯正基板で荷重を加え乍ら不活性ガス雰囲気中で加熱し、焼結せしめて基板とする窒化アルミニウム基板の製造方法において、前記セッターおよび矯正基板として、それぞれ前記脱脂体と同形で面積が該脱脂体よりも小さく、且つ、脱脂体との接触面が鏡面であるフラット基板と、該フラット基板に外嵌し、且つ、表面粗度がフラット基板よりも大きなフレーム基板とに分割したものを用い、前記脱脂体の外周部が前記フレーム基板の内周部に当接するように位置決めして前記脱脂体の焼結を行うことを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C04B 35/58 104 U
, C04B 35/64 J
, C04B 35/64 A
