特許
J-GLOBAL ID：200903030630930326
レーザ顕微鏡の照明装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109680
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318811
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 空間的な強度分布に乱れのない、均一で良質な強度分布を持つ光ビームを照射光として出射できるレーザ顕微鏡の照明装置を提供する。【構成】 マルチラインレーザから出射された複数の波長光からなる光ビーム1をレーザ顕微鏡へ供給するレーザ顕微鏡の照明装置において、光ビーム1のレーザ顕微鏡への光路に介挿され、光ビーム1を拡大し、かつ平行光束にする光ビーム拡大手段3と、光ビーム拡大手段3によって拡大され、平行光束にされた光ビームの光路上に各波長成分の光量比を変える少なくとも一つの光量比可変フィルタ4,6aと、光量比可変フィルタ4,6aを通過した光ビーム1を、一旦焦光させてから伝送ビーム径の平行光束の光ビーム1に変換する光束変換手段8と、光束変換手段8の焦光位置に配置され、光ビーム1の空間的な強度分布の乱れをなくすスペイシャルフィルタ9とを設けたレーザ顕微鏡の照明装置。
請求項（抜粋）：
マルチラインレーザから出射された互いに異なる波長を有する複数の光からなる光ビームをレーザ顕微鏡へ供給するレーザ顕微鏡の照明装置において、前記光ビームの前記レーザ顕微鏡への光路に介挿され、前記マルチラインレーザから出射された前記光ビームを拡大する光ビーム拡大手段と、前記光ビーム拡大手段によって拡大された光ビームの光路上に各波長成分の光量比を変える少なくとも一つの光量比可変フィルタと、前記光量比可変フィルタを通過した光ビームを、目的の大きさの光束に縮小変換する光束変換手段とを備えたことを特徴とするレーザ顕微鏡の照明装置。
IPC (2件)：
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