特許
J-GLOBAL ID：200903030632826542
ワイヤボンデイング方法及びワイヤボンデイング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-221967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063017
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置に関し、ボンディング時間を短縮することができ、しかもセカンドボンディング部の位置ずれを生じ難くして安定したボンディングを実現することができるワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置を提供することを目的とする。【構成】 ワイヤ先端に溶融ボールを形成してファーストボンディングを行った後、ワイヤ途中の所定部位に再び溶融ボールを形成し、該所定部位に形成された溶融ボールでセカンドボンディングを行うように構成する。
請求項（抜粋）：
ワイヤ先端に溶融ボールを形成してファーストボンディングを行った後、ワイヤ途中の所定部位に再び溶融ボールを形成し、該所定部位に形成された溶融ボールでセカンドボンディングを行うことを特徴とするワイヤボンディング方法。
IPC (2件)：
H01L 21/60 301
, H01L 21/60
