特許
J-GLOBAL ID：200903030637873425
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039940
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249875
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】製造の歩留まりが良く、信頼性の高いスルーホール部を有する半導体静電容量式加速度センサを提供すること。【構成】質量部(可動電極)4と、カンチレバー5が形成された単結晶シリコン板2を、固定電極6、7を有するガラス板1、3で挾んだ三層構造を有し、固定電極6からワイヤボンディングパッド11への接続路にスルーホール部9を備えた加速度センサにおいて、スルーホール部9の電極リード8との接続部に段差部又は丸め部を設けたもの。【効果】フォトリソグラフィー加工時での、フォトレジストの膜厚の確保が十分で、スルーホール部9での断線や接続不良の発生を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
可動電極となる質量部が形成された半導体板状部材の両面を少なくとも一方に固定電極が形成された2枚のガラス板で積層し、上記固定電極と外部端子の間の接続路に上記ガラス板を貫通するスルーホール部を有する半導体静電容量式加速度センサにおいて、上記スルーホール部の少なくとも上記固定電極が設けてある面側の端部に段差部が設けられていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, B60G 17/01
, H01L 29/84
