特許

J-GLOBAL ID：200903030638144958

電子線を用いた炭素分析装置

発明者： 槇石 規子 ,  山本 公
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-288221
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132765
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料表面の汚染を除去して炭素分析時のバック・グラウンドを低減し、従来より炭素の検出感度を高めた「電子線を用いた炭素分析装置」を提供することを目的としている。【解決手段】真空に排気された装置本体内に、電子線を試料面に照射する電子銃と、該試料面から発生した分析対象元素のX線を特性X線に分解する分光器と、分光された特性X線を検出し、その強度を電流に変える検出器及びプリアンプとを備えた電子線を用いた炭素分析装置において、上記装置本体内を高真空度まで排気するターボ・ポンプと試料面にイオンを照射するイオン銃とを備え、且つ上記検出器をガス・フロー型にすると共に、該検出器及びプリアンプを囲む小部屋を設け、該小部屋と装置本体内との境界に、該小部屋内の真空度が装置本体内より低真空になるよう差動排気手段を設けた。

請求項（抜粋）：

真空に排気された装置本体内に、電子線を試料面に照射する電子銃と、該試料面から発生した分析対象元素のX線を特性X線に分解する分光器と、分光された特性X線を検出し、その強度を電流に変える検出器及びプリアンプとを備えた電子線を用いた炭素分析装置において、上記装置本体内を10-8torrの高真空度まで排気するターボ・ポンプと試料面を清浄にするイオンを照射するイオン銃とを備え、且つ上記検出器をガス・フロー型にすると共に、該検出器及びプリアンプを囲む小部屋を設け、該小部屋と装置本体内との境界に、該小部屋内の真空度が装置本体内より低真空になるよう差動排気手段を設けたことを特徴とする電子線を用いた炭素分析装置。