特許

J-GLOBAL ID：200903030638253544

SOGコーター及びSOG膜の成膜方法

発明者： 増田 員拓
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304826
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150028
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 薄板状基板上の微細なパターンとSOG膜との間に気泡の残留や膜密度の濃淡が生じてしまい、薄板状基板上に均一で良好なSOG膜を形成することができないという問題点があった。【解決手段】 密閉槽6内に貯留され一定温度に保たれているSOG塗布液13内に薄板状基板3を浸漬し、密閉槽6内を加圧した後、SOG塗布液13に超音波振動を印加する。薄板状基板3をSOG塗布液13内から回転室18内の回転支持台19へ移載して回転させる。その後、薄板状基板3の裏面をエッチングおよび洗浄する。【効果】 既存のパターンを破壊することなく薄板状基板上にSOG膜を均一に平坦に形成できる。

請求項（抜粋）：

薄板状基板上にSOG膜を形成するSOGコーターにおいて、SOG塗布液を貯留し、前記薄板状基板を前記SOG塗布液内に浸漬するための槽と、前記SOG塗布液が付着している前記薄板状基板を回転させるための回転室と、を備えたことを特徴とするSOGコーター。

IPC (5件)：

H01L 21/31 ,  B05C 3/04 ,  B05D 1/18 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/768

FI (5件)：

H01L 21/31 A ,  B05C 3/04 ,  B05D 1/18 ,  H01L 21/316 H ,  H01L 21/90 Q

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-284875