特許

J-GLOBAL ID：200903030642340613

反射防止膜、光学素子およびそれを搭載した露光装置

発明者： 網干 順治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-117807
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311206
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】広い光線入射角度範囲で低反射率を備える反射防止膜、光学素子およびそれを搭載した露光機を提供すること。【手段】150nm以上の波長範囲に対して透明な基板上に、前記基板の屈折率よりも小さい屈折率物質からなる低屈折率層と、前記基板の屈折率よりも大きい屈折率物質からなる高屈折率層と、屈折率が前記低屈折率層と前記高屈折率層との間にある中間屈折率層とを積層してなる反射防止膜において、おのおのの層の光学膜厚が設計主波長λ0に対して前記基板側から順に、0.30〜0.40λ0の前記中間屈折率層、0.10〜0.15λ0の前記高屈折率層、0.30〜0.40λ0の前記中間屈折率層、0.25〜0.35λ0の前記低屈折率層、0.25〜0.35λ0の前記中間屈折率層、0.25〜0.30λ0の前記低屈折率層である構成とした。

請求項（抜粋）：

透明な基板上に誘電体を積層された反射防止膜において、150nm以上の波長における反射率が、入射角度0 ゚〜55 ゚に対して、1.0%以下であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (6件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027 ,  C03C 17/34

FI (6件)：

B32B 7/02 103 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 H ,  C03C 17/34 Z ,  G02B 1/10 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (41件)：

2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2K009AA02 ,  2K009AA06 ,  2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  4F100AA19D ,  4F100AA20B ,  4F100AA27C ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA04 ,  4F100BA26 ,  4F100GB41 ,  4F100GB90 ,  4F100JG05B ,  4F100JN01A ,  4F100JN06 ,  4F100JN18A ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100JN18D ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4G059AA11 ,  4G059AC04 ,  4G059EA01 ,  4G059EA05 ,  4G059EA16 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  5F046BA04 ,  5F046CB27