特許
J-GLOBAL ID:200903030646909211
導電性光選択透過シート
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
蔦田 璋子 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-344548
公開番号(公開出願番号):特開2001-164382
出願日: 1999年12月03日
公開日(公表日): 2001年06月19日
要約:
【要約】【課題】 優れた導電性を有し、かつ、可視光透過率が良好なプラスチックシートを提供する。【解決手段】 プラスチックからなる透明な基体シート(1)上に、導電性の金属(例えばCu)薄膜(2)とその上下に積層された金属窒化物(例えばAlN)からなるセラミック薄膜(3,4)とで構成される積層膜(5)を設けてなる導電性光選択透過シート。好ましくは、スパッタ電圧-50〜-300Vの低エネルギースパッタ法により、金属薄膜(2)は膜厚1〜50nmに、セラミック薄膜(3,4)は膜厚10〜500nmに成膜する。
請求項(抜粋):
プラスチックからなる透明な基体シート上に、導電性の金属薄膜とその上下に積層された金属窒化物からなるセラミック薄膜とで構成される積層膜を設けてなる導電性光選択透過シート。
IPC (3件):
C23C 28/00
, C23C 14/06
, C23C 14/14
FI (5件):
C23C 28/00 B
, C23C 28/00 D
, C23C 14/06 A
, C23C 14/06 N
, C23C 14/14 Z
Fターム (18件):
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA48
, 4K029BA58
, 4K029BC09
, 4K029BD00
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC32
, 4K044AA16
, 4K044AB02
, 4K044BA06
, 4K044BA18
, 4K044BB04
, 4K044BB15
, 4K044BC14
, 4K044CA13
引用特許:
出願人引用 (4件)
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積層体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-006788
出願人:三井東圧化学株式会社
-
電磁波シールド体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-264127
出願人:三井東圧化学株式会社
-
特開平3-249171
-
導電性積層体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-117845
出願人:出光興産株式会社
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審査官引用 (4件)
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積層体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-006788
出願人:三井東圧化学株式会社
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電磁波シールド体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-264127
出願人:三井東圧化学株式会社
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特開平3-249171
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導電性積層体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-117845
出願人:出光興産株式会社
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