特許

J-GLOBAL ID：200903030650394820

光導波路及びその製造方法

発明者： 西沢 元亨 ,  加藤 雅之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-308766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144935
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】高品位な光導波路層を単結晶基板上に形成することができる光導波路とその製造方法を提供すること。【解決手段】単結晶基板1と、最下層から最上層に向かって格子定数が段階的若しくは連続的に変化するように単結晶基板1上に形成された格子整合層2と、格子整合層2上に形成された光導波路層6と、を有することを特徴とする光導波路による。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

単結晶基板と、 最下層から最上層に向かって格子定数が段階的若しくは連続的に変化するように前記単結晶基板上に形成された格子整合層と、 前記格子整合層上に形成された光導波路層と、 を有することを特徴とする光導波路。

IPC (4件)：

G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  G02F1/035 ,  G02F1/295

FI (4件)：

G02B6/12 A ,  G02F1/035 ,  G02F1/295 ,  G02B6/12 M

Fターム (20件)：

2H047KA01 ,  2H047NA02 ,  2H047QA07 ,  2H047RA08 ,  2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA05 ,  2H079DA03 ,  2H079EA01 ,  2H079EB04 ,  2H079JA00 ,  2K002AA02 ,  2K002AB04 ,  2K002BA06 ,  2K002CA02 ,  2K002DA03 ,  2K002EB01 ,  2K002FA02 ,  2K002HA02