特許

J-GLOBAL ID：200903030657056296

塗布装置

発明者： 村上 慎一郎 ,  竹本 潤 ,  中島 泰秀 ,  宮川 俊二 ,  矢口 孝 ,  村田 正幸
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 米田 潤三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114293
公開番号（公開出願番号）：特開平9-276769
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの被塗布基板に対して均一な塗布膜の形成が可能な塗布装置を提供する。【解決手段】 上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドを備えた塗布装置において、スリットと平行に延びるとともに全域に亘って連通する中空状の液溜め部をスリットの下方に備える塗布ヘッドとし、かつ、この液溜め部に供給口を設け、さらに、液溜め部内にその軸方向に沿って少なくとも1つの液流阻害部材を対向面と所定の間隙を形成するように供給口とスリットとの間に設ける。

請求項（抜粋）：

上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドと、被塗布基板を前記塗布ヘッドの上方を通って斜め上方向に移動させるための基板保持部材とを備え、前記塗布ヘッドに塗布液を供給し、前記基板保持部材に保持された前記被塗布基板と前記塗布ヘッドとの間に前記スリットから吐出される塗布液によってビードを形成し、前記塗布ヘッドと被塗布基板との相対移動にともなってビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって前記被塗布基板への塗布液の塗布を行う塗布装置において、前記塗布ヘッドは、前記スリットと平行に延びるとともに全域に亘って連通する中空状の液溜め部を前記スリットの下方に備えるとともに、該液溜め部には供給口が設けられ、かつ、前記液溜め部内にはその軸方向に沿って少なくとも1つの液流阻害部材が対向面と所定の間隙を形成するように前記供給口と前記スリットとの間に設けられていることを特徴とする塗布装置。