特許
J-GLOBAL ID：200903030661464340
シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172796
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002430
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：
【要約】【課題】石英ガラスルツボの内表面の残留気泡を皆無にし、かつ目視や顕微鏡レベルでは確認されないが、使用時、内表面近傍に気泡を発生させる要因となる気泡核も実質的に存在せず、内表面が滑らかで、高いDF率が得られる石英ガラスルツボを製造できるシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法を提供する。【解決手段】回転する型内に石英原料粉を供給し、ルツボ形状成形体14を形成した後、これをアーク溶融10するシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法により製造された石英ガラスルツボ14R0 の内表面全体を機械研削15し、この内表面をアーク溶融18もしくは高周波プラズマ炎溶融によって再溶融することを特徴とするシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法。
請求項（抜粋）：
回転する型内に石英原料粉を供給し、ルツボ形状成形体を形成した後、これをアーク溶融するシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法により製造された石英ガラスルツボの内表面全体を機械研削し、この内表面をアーク溶融によって再溶融することを特徴とするシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C03B 20/00 H
, C03B 20/00 A
, C30B 15/10
4G014AH08
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077PD01
